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函詢揮發性有機物空氣污染防制費計算疑義
發文機關：行政院環境保護署空氣品質保護及噪音管制處
發文字號：行政院環境保護署空氣品質保護及噪音管制處 108.01.07. 環署空字第1080001
658號
發文日期：民國108年1月7日
主旨：貴局函詢揮發性有機物空氣污染防制費（以下簡稱空污費）計算疑義乙案，復如說明
，請查照。
說明：
一、依據「公私場所固定污染源申報空氣污染防制費之揮發性有機物之行業製程排放係數
、操作單元（含設備元件）排放係數、控制效率及其他計量規定」（以下簡稱揮發性
有機物排放係數及計量規定），積體電路製造程序（含光阻、微影、蝕刻等作業者適
用）之排放係數為2.24公斤／平方公尺，抑或採用1000.000 V質量平衡計量法，由業
者自行選用，先行敘明。
二、有關貴局轄內業者僅有蝕刻單元，並無光阻、微影作業，仍可適用積體電路製造程序
（含光阻、微影、蝕刻等作業者適用）排放係數進行計量計算。
三、有關質量平衡法引用之檢測資料日期一節，依據本署公告之「採用質量平衡計算空氣
污染物排放量之固定污染源計量方式規定」附錄一、（五）2.規定，固定污染源之原
（物）料、回收原（物）料、廢水、廢棄物、廢溶劑與產品中揮發性有機物含量之重
量百分比資訊，應依其製程特性自行提報引用資料來源與該資料之檢測日期；前述引
用資料來源日期，不得超過每季申報期限截止日前五年。
四、本案請貴局依個案實際情形，本權責查明後妥處。
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